项目负责人黄文，合肥工业大学微电子学院教授、博导，省级领军人才，“变革性技术关键科学问题”国家重点研发计划重点专项项目首席科学家，全国信息技术标准化技术委员会物联网分技术委员会委员，IEEE高级会员。本科毕业于电子科技大学，博士毕业于美国伊利诺伊大学香槟分校。长期专注于微纳电子技术研究，代表性工作在Science、Nature正刊及子刊已发表9篇，参与制定国家标准5项，获授权中国和美国发明专利20余项。

后续，合肥工业大学颠覆性技术团队将设立成果转化公司，聚焦超高深宽比磁控三维矢量刻蚀装备研发、制造与工艺服务。面向三维堆叠芯片硅基冷板热管理需求，突破传统刻蚀局限，提供全域均匀三维矢量刻蚀解决方案，补齐算力热管理核心装备短板，服务数据中心、高性能计算赛道，助力国产AI 算力基础设施自主可控。