新型电力系统需要对全域电场/电压状态实时监测。当前使用的场磨式电场传感器、电压互感器等存在体积大、功耗高、成本高等问题。本项目提出具有场增强效应的电场敏感单元及封装结构一体化设计方法与晶圆级高效制备技术，研制出晶圆级封装MEMS电场传感器，较现有传感器体积、功耗、成本有数量级缩减。推动电学量检测技术进步及产业变革，占领电力系统电场/电压测量技术制高点。本项目由北京中科飞龙传感技术有限责任公司牵头研发。

电场传感器技术产品

电场传感器技术原理示意图