射频声波滤波器作为5G通信射频前端的关键核心器件，具有频率选择以及抑制干扰信号的功能。高端射频声波滤波器被美、日垄断，是我国关键“卡脖子”技术之一。本项目基于离子束剥离与低应力键合的异质集成衬底技术，研制出底层衬底材料，进一步研发高频超级声表面波（SUPSAW）滤波器，在重要场合得到应用。突破国外壁垒，实现我国射频前端核心器件的自主可控和技术引领。本项目由中科院上海微系统与信息技术研究所牵头研发。